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光谱共焦测厚度
综上所述,光谱共焦传感器在晶圆厚度测量中表现出卓越的性能。其高精度、非接触性的测量方式以及对透明和镜面材质物体的优越测量性能使得光谱共焦传感器成为半导体产业中的重要工具。随着技术的不断进步和创新,光谱共焦传感器有望在未来发挥更大的作用,为半导体产业的发展提供有力支持。
基于光谱共焦的厚度测量仪的特点:两轴厚度扫描:可实现两轴的厚度扫描,并实时记录厚度值,生成三维图形,便于对样品进行全方位的分析。非接触式测量:采用非接触式测量方式,不会因为磨损而影响测量精度,保证了长期测量的稳定性和准确性。
光谱共焦的两种测量模式为位移测量模式和厚度测量模式,具体介绍如下:位移测量模式 功能:输出z方向高度值,读取XY位移量并直接生成点云坐标,支持反射面测量,精度达亚微米级。应用场景:点测量:用于物体振动分析或液体高度测量,通过输出不同时刻的z值辅助动态分析。

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